研究方向：主被动一体化空气弹簧隔振研究

精密制造与测量依赖于可靠的定位稳定性，环境振动和设备振动将造成试件与测量系统的相对运动，产生偏移，在传统制造、检测设备中无需考虑的微小振动将会精密设备的正常运行产生致命的影响，使制造与测量结果的准确性和可重复性大大降低，这就需要借助隔振技术将振动影响降至可接受范围。隔振技术通过隔离环境微振动，为精密设备的正常运行提供了平稳的工作环境，是精密加工、检测领域的关键支撑技术和共性技术，其广泛应用半导体行业、科学精密检测领域、超精密加工领域、航空航天领域以及电子制造领域。

面向超精密加工、制造与测量领域高精度、快响应、全频段隔振的需求，研究主被动一体化空气弹簧隔振系统。设计准等温/准零刚度气动隔振机构，基于气室压力、加速度、位移等反馈、前馈信息，建立气动主被动一体化隔振器的动力学模型，开发多信息融合的主被动隔振混合控制策略，实现全频段隔振。

[1]Xu, Shaofeng; Shi, Yan; Cai, Maolin; Wang, Yixuan ; Electrical impedance tomography for clinical application, Science China Technological Sciences, 2022

[2]Sun, Zhibo; Xu, Shaofeng; Cheng, Li; Wang, Na; Wang, Yixuan; Tian, Minhui; Zhang, Qingzhen; Design and Analysis of a Pneumatic Spring Testing System for Precision Manufacturing., Materials, 2022, 15(3)

[3]Shi, Yan; Yang, ZhiGuo; Xie, Fei; Ren, Shuai; Xu, ShaoFeng ; The Research Progress of Electrical Impedance Tomography for Lung Monitoring, Frontiers in Bioengineering and Biotechnology,2021, 9

[4]Sun, Zhibo; Shi, Yan; Wang, Na; Zhang, Jian; Wang, Yixuan; Xu, Shaofeng ; Mechanism and Optimization of a Novel Automobile Pneumatic Suspension Based on Dynamic Analysis, ELECTRONICS, 2021, 10(18)

Fig.1 Pneumatic vibration isolation platform